Multisensor-Koordinatenmessgeräte für Mikrostrukturen

Werth VideoCheck® HA mit Bildverarbeitungssensor, patentiertem Werth Fiber Probe® und Chromatic Focus Point Sensor für hochgenaue optische und taktile Messungen in allen drei Raumrichtungen

Alle Werth ScopeCheck-, VideoCheck- und TomoScope-Geräte verfügen über eine rückgeführte Spezifikation nach VDI 2617 bzw. ISO 10360, auf Wunsch mit DAkkS- oder SEMI-Zertifizierung. In der patentierten Betriebsart Rasterscanning HD können beispielsweise große Glasfaserkoppler mit Tausenden kleiner Bohrungen genau und schnell gemessen werden.

Mit Längenmessabweichungen von MPE Euni bis zu (0,25 + L/900) µm bzw. (0,15 + L/2000) µm sind der Werth VideoCheck® HA und der VideoCheck® UA die weltweit genauesten Multisensor-Koordinatenmesssysteme. Der VideoCheck® HA ermöglicht die Messung von Präzisionswerkstücken mit Toleranzen im Mikrometerbereich und 3D-Mikrogeometrien auch an großen Werkstücken. Das Gerät verfügt über ein einzigartiges Konzept mit bis zu drei unabhängigen Sensorachsen für schnelle Multisensor-Messungen ohne Einschränkung.

In der patentierten Betriebsart Rasterscanning HD werden während der Bewegung aufgenommene Einzelbilder zu einem hochaufgelösten Gesamtbild überlagert. So können beispielsweise große Platten mit Tausenden kleiner Bohrungen automatisch gemessen werden. Das Gesamtbild hat eine Auflösung von bis zu 20.000 Megapixeln (ca. 140 000 × 140 000 Pixel bei einer Pixelgröße von 5 µm).

Für den Einsatz der Koordinatenmessgeräte in der Halbleiterindustrie gibt der Branchenverband SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) internationale Sicherheitsstandards heraus. Die Richtlinien der SEMI-Organisation nehmen weltweit einen immer höheren Stellenwert ein und müssen durch einen unabhängigen Dritten bewertet werden. In Deutschland kann diese Zertifizierung durch den TÜV erfolgen.

Hierfür wurde der VideoCheck® HA an die internationalen Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsrichtlinien für Halbleiterfertigungsanlagen angepasst und mit dem notwendigen Zubehör ausgestattet. Die SEMI-Richtlinien enthalten detaillierte Vorgaben insbesondere zur elektrischen Auslegung und deren Störfestigkeit, aber auch zur mechanischen Konstruktion, zu Strahlungs- und Schallschutz sowie Ergonomie. Eine spezielle Brandschutz-Haube reduziert zum Beispiel die Brandlast. Eine Bodenverankerung dient dem Erdbebenschutz und stabilisiert in einem solchen Fall das auf Schwingungsdämpfern aufgestellte Gerät. Lichtschranken gewährleisten bei Eintritt in den Sicherheitskorridor einen Gerätestopp oder den Betrieb der Geräteachsen mit sicheren Geschwindigkeiten.